鐘擺閥
鐘擺閥是一種用在製程真空室和渦輪分子泵入口之間安裝一個大的真空系統節流閥, 有鍍鎳或陽極硬膜不銹鋼構成
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高真空鋁合金閥門
高真空鋁合金閥門的本體是高純鋁也可選用不鏽鋼,連結法蘭為KF(NW)含波紋管密封常閉型,超過1千萬次運轉,測漏率: 2x10-9 Torr.l/s
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全金屬閥門
全金屬閥門專用於超高真空系統,其密封用的Gasket墊片是可耐大溫差的金屬墊片,可提供從大氣壓到10-11 Torr以下的高溫密封。
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真空閘閥
真空閘閥通常用來接通或阻斷管路中的介質,適用於壓力及口徑範圍較大的配管中,因此
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真空閥門
真空閥門應用於真空系統用來改變氣流方向、控制或調節器氣體的導入或導出的流量。
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Teflon Coating 真空閥
Teflon Coating 真空閥, 適合安裝於真空排氣系統的洗滌設備(Scrubber)管線
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真空球閥
真空球閥設計在中央閥體內有顆球,通過閥桿向旋轉90°來打開和關閉; 執行機構方向指示箭頭與管線平行時,閥門打開;箭頭與管線垂直時,閥門關閉
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矩形閘閥
矩形閘閥Transfer Gate Valve 廣泛應用於鍍膜設備與光電產業,如生產線與過渡腔室與傳輸系統,傳輸系統與工藝腔室等需要分隔真空壓力的地方。
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鋁合金真空閘閥
鋁合金真空閘閥用於高真空系統環境中,鋁合金閘閥是一種氣動真空閘閥。
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APC 蝶閥
APC 蝶閥擁有APC新型製程控制系統擁有精確的真空壓力控制與執行反應時間短
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逆止閥
逆止閥能使氣體和液體流入只有一個方向,並防止另一流向逆流的閥門。日揚提供可使用於水平、垂直或任意方向和僅限用垂直方向的逆止閥
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真空腔體
真空腔體常用的材料有不銹鋼、鋁合金、碳鋼等,形狀有矩形、圓筒型和多邊形,表面
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正立方體六通
CF法蘭的正立方體Cube六通應用於超高真空環境. 法蘭尺寸CF-100及以下的規格是以整塊材料加工而成
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真空管件
日揚真空管件提供有彎頭、三通、四通是真空腔體的建構組件,更加地靈活運用於各種真空系統
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液壓成型真空波紋管
真空波紋管(Bellows)適用各種高真空與超高真空環境的管路,藉著波紋管橈曲來吸收特定的管件變位
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